TZ-650D同轴光金相显微镜芯片晶圆检查


TZ-650D同轴光金相显微镜芯片晶圆检查

TZ-650D同轴光金相显微镜芯片晶圆检查

TZ650D高分辨率单筒镜头采用积木式结构,平行光路光学系统,可选配不同倍率的CCD接口和辅助物镜满足不同倍率,视野和工作距离的需求。高分辨率、高对比度成像。重复定位精度高,重复精度可达1um。可选配LED照明或光纤照明可观察不同的样品,可以满足客户多方面的要求,广泛应用于电气设备、半导体、LCD、LED观察检测等

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一、产品概述:

TZ650D高分辨率单筒镜头采用积木式结构,平行光路光学系统,可选配不同倍率的CCD接口和辅助物镜满足不同倍率,视野和工作距离的需求。高分辨率、高对比度成像。重复定位精度高,重复精度可达1um。可选配LED照明或光纤照明可观察不同的样品,可以满足客户多方面的要求,广泛应用于电气设备、半导体、LCD、LED观察检测等。 

二、显微镜参数

序号

名称

技术参数

01

镜  筒

同轴定格定倍镜头

02

光学倍率

0.6-5.0X连续变倍  1:8.3大变倍比

03

电子放大

180X-1525X连续变倍(根据21.5寸显示器)

04

视场范围

0.036mm-100mm

05

CCD接口倍率

1X

06

无限远消色差物镜

5X

07

镜筒安装直径

φ39.6mm

08

照明方式

可调同轴光源

09

调焦方式

立柱式

10

调节范围

升降调节范围60mm;立杆高330mm

11

底座尺寸

320mm×260mm

12

CCD接口倍率可选

0.3X ,0.45X,0.5X,0.67X 1.5X,2X,3X

13

辅助物镜倍率可选

0.3X,0.4X,0.5X ,0.6X,1.5X,2X

14

无限远物镜可选

无限远平场消色差物镜

10X ,20X,40X,60X,80X,100X

长工作距无限远平场复消色差物镜

2X,2.5X,5X,10X,20X,50X

三、相机参数

KD-4KR相机技术特点:

◆    内置全新开发的测量系统,再次提高图像清晰度;

◆    4K输出图像830万像素,实时帧率60FPS;

◆    新增:自定义界面编辑、自定义模板编辑、Dxf导入模板、文件管理、测量数据导出等功能;

◆    SONY高性能感光芯片,噪声低、灵敏度高、色彩真实;

◆    双核2*[email protected]+2*[email protected]

◆    配备USB3.0、千兆网接口;

◆    高清拍图、录像及预览回放;

◆    内置自动寻边功能,提升测量效果;

◆    支持U盘存储功能,可外接鼠标

型号 product model

KD-4KR

接口 Interface

HDMI

分辨率 Resolution

3840 x 2160

像元尺寸 Pixel size

1.85μm x 1.85μm

靶面尺寸 Target size

1/1.7

数据位数 Data bi

12bit

曝光方式 Shutter mode

逐行曝光Rolling Shutter

输出帧率 Output frame rate

60FPS

输出颜色 Output color

彩色Color