MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜
奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。
产品及品牌信息
- 品牌： 科信/COSSIM
- 型号： MX61/MX61L OLYMPUS金相显微镜
- 售后服务：享受景通公司售后和技术支持服务
订购信息
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MX61/MX61L 产品介绍
奥林巴斯 MX61/MX61L 产品特点缩短检查用时，提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式，甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦，甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选，通用型及高数值孔径型。为FPD，MASK板检查提供合适的照明，并且可配备起偏镜，实现投射光简易偏光观察。高反差，更高分辨率，更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦，获得高分辨率，高反差的共焦图像。
备有U.B.G等多种荧光方式可选，用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件，甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口，使得用PC控制显微镜电动部分成为可能，并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件，对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正，用于IC深层或内部检查，可实现对WAFER BUMP的全面检查。
○ 大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)
○ 采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利
○ 多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求
○ 透射和反射照明可同时使用，极大提高液晶基板观察效果
MX61/MX61L 技术参数与规格
型号 | MX61 | MX61L | ||
光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正光学系统） | |||
镜体 | 反射照明 (视场数26.5) | 12V，100W卤素灯泡（预定心型） 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜（选配）转换使用 内置电动孔径光阑（每全物镜可预设，暗视场观测时自动打开 | ||
透射照明 (视场数26.5) | 进行透射照明时要配合使用MX-TILLA或MX-TILLB 采用LG-PS2型光源和LG-SF型光源附件（12V 100W卤素灯）或同光源进行照明 MX-TILLA：聚光镜（数值孔径0.5），带孔径光阑 MX-TILLB：聚光镜（数值孔径0.6），带孔径光阑和视场光阑 | |||
观察方式 | 1、反射照明法 2、发射暗视场法 3、反射诺曼尔斯微分干涉法 4、反射简易偏振光法 5、反射荧光法 6、反射IR照明法 7、透射明场法8、透射简易偏振光法 *3、4、5、需要专门的分光镜组（可选） *7、8、需要与透射照明部件配合使用 | |||
观察筒 | 超宽视场正像倾斜三目观察筒（视场数26.5）：MX-SWETTR型其它：超宽视场三目观察筒/广角视场双目观察筒 | 超宽视场正像倾斜三目观察筒（视场数26.5）:MX-SWETTR型或U-SWETTR型 (MX-SWETTR是MX61L的标准配置) | ||
物镜转换器 | 六孔电动物镜转换器，配备滑槽，用于微分干涉法观测：U-D6REMC型 明/暗视场五孔电动物镜转换器，配备滑配槽，用于微分干涉法观测：U-D5BDREMC型 明/暗视场六孔电动物镜转换器，配备滑配槽，用于微分干涉法观测：U-D6BDREMC型 明/暗视场中心输出五孔电动物镜转换器，配备滑槽,用于微分干涉法观测：U-P5BDREMC型 通过显微镜前面板上的物镜转换按钮或直接通过U-HSTR2（用户指定）手动开关控制转换 | |||
载物台 | MX-SIC8R8×8 inch载物台 行程：210×210mm(透射照明面积189×189mm) MX-SIC6A×6 inch载物台 行程：158×158mm(反射光仅在配备MX61时使用) | MX-SICI412R2 14×12 inch载物台 行程：356×305mm(透射照明面积：356×284mm 与MX-TILLB配合使用 | ||
滚柱导块结构，带式驱动系统（无齿条），离合功能（带式驱动脱离系统） | ||||
能耗 | 内置反射光源：100-120/220-240V-1.9/0.9A 50/60Hz 透射光源：（LG-PS2）：100-120/220-240V-3.0/108A 50/60Hz | |||
外形尺寸/重量 | 尺寸:约509(W)×843(D)×507(H)mm 重量：约40Kg(仅镜体约27Kg) | 尺寸:约710(W)×843(D)×507(H)mm 重量：约51Kg(仅镜体约31Kg) | ||
MX61/MX61L 详细介绍
MX61/MX61L，300mm/200mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（D/C）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。
考虑了检查效率的设计
○ 主要操作集中配置在前面板上
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。
[1]照明强度旋钮 [2]物镜倍率切换 [3]孔径光阑调节
○ 观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
为了使用视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°-42°(可变高度为150mm,SEMI S8）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。
倾斜镜筒示意图
○ 高灵敏度载物台可以迅速决定位置
对应300mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。
内置离合器的载物台手柄
鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系
○ 多种选择可实现卓越的成像性能
物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
观察影像实例：
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察
软件方案
○ 实现数字成像
MX61/MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。
○ 使用数码照相机记录和保存数码影像
三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。
支持缺陷检测的多种功能
○ 快速切换物镜，提高检查速度
电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。
○ 变换物镜，孔径光阑（AS）也随之调节
每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（AS）的话，会影响检查速度。MX61/MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以Zui合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。
AS自动调节示意图
帮助实现多种观察的附件
○ 安全快速的搬运晶圆
MX61/MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到围观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。
自动晶圆搬送机AL110（200mm规格）组合
○ 近红外观察单元
由可见光线领域到近红外线领域的象差校正物镜，和红外线用超广角三目镜筒等，对应近红外线的装置备有各种型号。在晶圆凸出物接触面等的观察上发挥威力。
近红外线观察单元 粘合衬垫
○ 荧光观察单元
在滑杆上追加镜子装置可以对应荧光观察。备有U.B.G激励的反射镜装置，可有效地检查和分析有机EL和残留光刻胶。
○ 透射照明单元
对应光掩模和FPD检查的透射照明单元。偏振光片的搭载，实现了透射简易偏振光观察。有通用的A型号和高NA（数值孔径）的B型号两种型号。
透射照明单元